1.堇青石具有熱穩定性好、結構疏鬆和低熱膨脹係數等性能,並且具有一定的力學強度。
2.堇青石陶瓷因其獨特的熱和機械性能(例如低熱膨脹和長期尺寸穩定性低熱膨脹、高機械強度和高剛性、長期尺寸穩定性、耐輻射性的特點)可應用於長期穩定尺寸精度及長期嚴苛環境下的應用。

因應堇青石優異的特性, 可以有效抵抗蝕刻機的高速移動引發的變形,尤其是低膨脹係數穩定的尺寸應用於微影蝕刻設備的晶圓承載台。